Tergeo Basic基本型等離子清潔儀

PIE Scientific專注研發(fā)先進的實驗室用等離子儀器，用于SEM/TEM樣品清潔、光刻膠蝕刻、等離子體增強沉積、表面處理與活化。我們的宗旨是：將半導(dǎo)體和核工程研究中開發(fā)的新品等離子技術(shù)集成到經(jīng)濟實用的實驗室用等離子儀器。

來自美國PIE Scientific出品的小型臺式等離子清潔儀，可以用來清潔納米級樣品、蝕刻光刻膠、激活聚合物表面功能團、獲得親水或疏水性，增強粘合強度以及可印染性、促進醫(yī)學(xué)器件生物相容性，Tergeo系統(tǒng)集成了常規(guī)的浸入式清洗模式和特有的遠程清洗模式。

特點：

1. 系統(tǒng)具有雙等離子源。浸入式等離子源用于主動表面處理、光刻膠蝕刻。遠程式等離子源用于溫和的污染清除以及脆弱易損樣品的表面活化

2. 13.56MHz高頻射頻發(fā)生器，

3. 7英寸觸摸屏控制界面，全自動操作

4. 標配75W版本，可選150W版本

5. 標配2路氣體輸入，可選第三路氣體輸入

6. AC輸入：通用(110~230V, 50/60Hz)

除了Tergeo Basic基本型等離子清潔儀，另有Tergeo Plus型大腔室等離子清潔儀和Tergeo EM型SEM & TEM樣品清潔專用等離子清潔儀，歡迎選購！