特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
✬高性能離子濺射儀，可選等離子處理附件
✬獨(dú)特的即插即用濺射模塊
✬一流的真空性能和快速抽真空

✬標(biāo)配隔膜泵和渦輪泵；全量程真空測(cè)量（皮拉尼，冷陰極真空計(jì)）

✬結(jié)構(gòu)緊湊、可靠且易于維修
✬雙位置膜厚監(jiān)控裝置，可兼容不同尺寸的樣品
✬主動(dòng)冷卻的濺射頭可確保鍍膜質(zhì)量并延長(zhǎng)連續(xù)運(yùn)行時(shí)間

巧妙的真空設(shè)計(jì)
CCU-010 HV系列高真空鍍膜系統(tǒng)，除了用于SEM和EDX的常規(guī)高質(zhì)量濺射鍍膜之外，還涵蓋了高級(jí)的SEM，TEM和薄膜應(yīng)用。特別選擇和設(shè)計(jì)的材料、表面和形狀可大大縮短抽真空時(shí)間。兩個(gè)附加的標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭允許連接第三方設(shè)備。

LC-006金屬大腔室

SP-010 & SP-011濺射模塊 

ET-010等離子刻蝕單元 

RC-010手套箱應(yīng)用的遠(yuǎn)程控制軟件

可選多種樣品臺(tái)

CCU-010 HV系列高真空鍍膜儀及其版本
CCU-010 HV系列高真空鍍膜系統(tǒng)專為滿足電鏡樣品制備領(lǐng)域及材料科學(xué)薄膜應(yīng)用的高要求而設(shè)計(jì)。CCU-010 HV 高真空濺射和鍍碳儀采用優(yōu)質(zhì)組件和智能設(shè)計(jì)，可在超高分辨率應(yīng)用中提供出色的結(jié)果。該設(shè)備是全自動(dòng)抽真空和全自動(dòng)操作，所有CCU-010 HV系列高真空版本的鍍膜儀，均采用TFT 觸摸屏，配方可編程，保證結(jié)果可重復(fù)。CCU-010 HV 標(biāo)配抽真空系統(tǒng)完全無油，含高性能渦輪泵和前級(jí)隔膜泵，均位于內(nèi)部，外部沒有笨重的旋轉(zhuǎn)泵和真空管路。這是一款尺寸合理的桌上型高真空鍍膜儀。使用無油抽真空系統(tǒng)可將鍍層中的污染或缺陷降至低。關(guān)閉時(shí)，該設(shè)備可以保持在真空下，這有效地保護(hù)了系統(tǒng)免受灰塵和濕氣的影響，并為高質(zhì)量的鍍層創(chuàng)造了快速抽真空和有利的真空條件。

CCU-010 HV系列高真空鍍膜儀版本有：CCU-010 HV高真空磁控離子濺射鍍膜儀；CCU-010 HV高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀；CCU-010 HV高真空離子濺射和鍍碳一體化鍍膜儀；CCU-010 HV高真空手套箱專用鍍膜儀。

CCU-010 HV系列高真空鍍膜的主要亮點(diǎn)在于實(shí)現(xiàn)了兩大技術(shù)性突破：一是獨(dú)家采用自動(dòng)碳纖維卷繞系統(tǒng)，在每次蒸發(fā)后自動(dòng)推進(jìn)碳纖維，在不破真空更換碳源的情況下可進(jìn)行數(shù)十次的鍍碳運(yùn)行，比市場(chǎng)上常見的單次、雙次或四次碳纖維鍍膜方式節(jié)省大量的人工操作，既適用于大多數(shù)常規(guī)鍍碳應(yīng)用，也適用于超薄或超厚碳膜以及溫度敏感樣品的應(yīng)用。二是將“鍍膜前對(duì)樣品表面進(jìn)行等離子清潔（增加附著力）+鍍膜+鍍膜后對(duì)膜層表面進(jìn)行改性（比如：親水化）或刻蝕”全流程集于同一臺(tái)儀器同一次真空下完成，大大提高了鍍膜質(zhì)量，拓寬了應(yīng)用范圍。另外，瑞士制造，是“精密”和“高品質(zhì)”的代名詞；瑞士原廠貨源，覃思本地服務(wù)，客戶買得放心、用得省心！