緊湊型、模塊化和智能化
CCU-010 LV_CT-010為一款結(jié)構(gòu)緊湊、全自動(dòng)型的熱蒸發(fā)鍍碳設(shè)備，使用非常簡(jiǎn)便。采用獨(dú)特的插入式設(shè)計(jì)，可選通過簡(jiǎn)單地變換鍍膜頭就可輕松配置為濺射設(shè)備。在鍍膜之前和/或之后，可以進(jìn)行等離子處理。模塊化設(shè)計(jì)可輕松避免交叉污染。CCU-010系列鍍膜儀標(biāo)配膜厚監(jiān)測(cè)裝置。特點(diǎn)和優(yōu)點(diǎn)
✬高性能熱蒸發(fā)鍍碳和等離子處理
✬專有的自動(dòng)碳源卷送設(shè)計(jì)–多達(dá)數(shù)十次碳鍍膜，無需用戶干預(yù)
✬獨(dú)特的即插即用蒸碳鍍膜模塊
✬一流的真空性能和快速抽真空
✬結(jié)構(gòu)緊湊、可靠且易于維修
✬雙位置膜厚監(jiān)控裝置，可兼容不同尺寸的樣品
巧妙的真空設(shè)計(jì)
CCU-010 LV_CT-010精細(xì)真空鍍膜系統(tǒng)專為SEM和EDX的常規(guī)高質(zhì)量鍍碳而設(shè)計(jì)。模塊化的設(shè)計(jì)可將低真空單元后續(xù)很輕松地升級(jí)為高真空單元。特別選擇和設(shè)計(jì)的材料、表面和形狀可大大縮短抽真空時(shí)間。兩個(gè)附加的標(biāo)準(zhǔn)真空法蘭允許連接第三方設(shè)備。
CT-010碳蒸發(fā)模塊
緊湊的插入式碳蒸發(fā)模塊為鍍碳樹立了新標(biāo)桿。將該頭插入CCU-010 LV鍍膜主體后，即可立即使用，適合SEM/EDS等需要高質(zhì)量碳膜應(yīng)用的場(chǎng)合。CT-010使用歐洲專有的、獨(dú)特且技術(shù)領(lǐng)先的碳繩卷軸系統(tǒng)，可在一次真空下進(jìn)行多達(dá)數(shù)十次涂層的鍍膜，而無需更換碳源。一段碳繩蒸發(fā)后，新的一段會(huì)自動(dòng)前進(jìn)，用過的碳繩會(huì)掉落到方便的收集盤中。除了易于使用外，自動(dòng)卷軸系統(tǒng)還允許在一個(gè)鍍膜循環(huán)內(nèi)可控地沉積幾乎任何厚度的碳膜。易于選擇的鍍膜模式可保障鍍膜安全，從對(duì)溫度敏感的樣品進(jìn)行溫和的蒸鍍薄碳膜到在中厚碳膜層應(yīng)用時(shí)的高功率閃蒸鍍碳。整合脈沖蒸發(fā)、自動(dòng)啟動(dòng)擋板后除氣及膜厚監(jiān)控的智能電源控制提供了精確的碳膜厚度，并可避免火花引起的表面不均勻。
GD-010輝光放電模塊
可選的GD-010輝光放電系統(tǒng)可快速安裝，通過空氣、氬氣或其它專用氣體進(jìn)行表面處理，例如，使碳膜親水。本機(jī)可按順序進(jìn)行碳鍍膜和輝光放電處理，無需“破”真空或更換處理頭，極大地簡(jiǎn)化了操作過程。本單元安裝到CT-010，與所有樣品臺(tái)兼容。
ET-010等離子刻蝕單元
在對(duì)樣品進(jìn)行鍍膜之前或鍍膜之后，可以對(duì)樣品進(jìn)行等離子刻蝕處理。使用該附件，可以選擇氬氣、其它蝕刻氣體或大氣作為處理氣體。這樣可以在鍍膜前清潔樣品，增加薄膜的附著力。也可在樣品鍍碳后進(jìn)行等離子處理，從而對(duì)碳膜表面進(jìn)行改性。
RC-010手套箱應(yīng)用的遠(yuǎn)程控制軟件
◎基于window的遠(yuǎn)程控制軟件
◎創(chuàng)建和調(diào)用配方
◎?qū)崟r(shí)圖表，包含導(dǎo)出功能（Excel、png等）
◎自動(dòng)連接到設(shè)備
可選多種樣品臺(tái)
CCU-010提供了一個(gè)直徑不小于60mm的樣品臺(tái)，該樣品臺(tái)插入到高度可調(diào)且可傾斜的樣品臺(tái)支架上。可選其它專用的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)、行星臺(tái)、載玻片樣品臺(tái)等。
CCU-010 LV系列鍍膜儀版本
除了CCU-010 LV熱蒸發(fā)鍍碳儀之外，還可選擇：CCU-010 LV磁控離子濺射鍍膜儀；CCU-010 LV離子濺射和鍍碳一體化鍍膜儀；CCU-010 LV手套箱專用鍍膜儀。所有CCU-010 LV系列鍍膜儀均采用TFT 觸摸屏操控，配方可編程，保證結(jié)果可重復(fù)；具有斷電時(shí)系統(tǒng)自動(dòng)排氣功能，可防止系統(tǒng)被前級(jí)泵油污染。
