LFGS射頻發(fā)生器是用于半導(dǎo)體生產(chǎn)和一般等離子處理的多功能射頻發(fā)生器。此類(lèi)可變頻率發(fā)生器采用了一種半橋、D類(lèi)型放大器理念，是一種空冷式緊湊型的設(shè)計(jì)，可安裝在19英寸機(jī)架上面。應(yīng)用包括濺射、等離子蝕刻、化學(xué)氣象沉積、聚合以及表面處理設(shè)備上。

維修范圍：刻蝕、RIE、平行板、ICP、pecvd、射頻濺射、CVD 和PVD等系統(tǒng)，工業(yè)系統(tǒng)中感應(yīng)加熱和電介質(zhì)加熱設(shè)備的電源，烘干、塑化、硅晶體生長(zhǎng)和平板顯示器領(lǐng)域應(yīng)用電源，直流偏壓和硬鍍膜，信息設(shè)備(ITE)及輕工業(yè)系統(tǒng)、鍍膜設(shè)備。 從事大功率射頻RF電源及匹配器維修，為太陽(yáng)能光伏、半導(dǎo)體、液晶面板、鍍膜行業(yè)維修PVD、CVD、PECVD、MOCVD、ION IMP設(shè)備電源，包括直流、高壓、脈沖、微波、匹配器、RPSC、CHILLER射頻電源維修。

測(cè)試一板上濾波電容上無(wú)380VDC電壓。VC，Vstart/control,C/RT波形以及V0波形均正常，測(cè)量場(chǎng)效應(yīng)功率開(kāi)關(guān)管無(wú)V0波形，由于FA5331(PFC)為貼片元件，機(jī)器用久后出現(xiàn)V0端與板之間虛焊，V0信號(hào)沒(méi)有送到場(chǎng)效應(yīng)管。當(dāng)濾波電容上無(wú)380VDC左右電壓時(shí)，說(shuō)明PFC電路沒(méi)有正常工作，PFC模塊關(guān)鍵檢測(cè)腳為電源輸入腳VC，啟動(dòng)腳Vstart/control，C/RT腳及V0腳，將V0端與板上焊點(diǎn)焊好，用萬(wàn)用表測(cè)量濾波電容有380VDC電壓。當(dāng)Vstart/control端為低電平時(shí)，PFC亦不能工作，則要檢測(cè)其端點(diǎn)與外部相連的有關(guān)電路。