簡(jiǎn)介

美國(guó)Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀適用于生物樣品、凝膠、MEMS、MOF、碳納米管、石墨烯、半導(dǎo)體晶圓等材料的干燥，避免樣品在干燥過(guò)程中受損。該設(shè)備利用CO2臨界點(diǎn)狀態(tài)下的無(wú)液相表面張力原理，確保樣品形貌的真實(shí)性和完整性。Tousimis提供多種型號(hào)的臨界點(diǎn)干燥儀，包括非潔凈室和潔凈室版本，滿足不同應(yīng)用場(chǎng)景需求，如電鏡制樣和超凈間內(nèi)的材料研究。這些設(shè)備具備全自動(dòng)程序控制、高精度溫度和壓力控制、防靜電設(shè)計(jì)等特點(diǎn)，確保干燥過(guò)程的高效、精確和可重復(fù)性。

美國(guó)Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀Cleanroom潔凈室版

美國(guó)Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀（CPD）產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室（Cleanroom）版本兩大類，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內(nèi)的材料研究用途。

Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀Cleanroom潔凈室版本共有9個(gè)型號(hào)：Autosamdri-815 Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀可用于裸片和1”晶圓；Autosamdri-815B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀可用于4”晶圓；Automegasamdri-915B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀可用于6”晶圓；Autosamdri-931_1.25"、Autosamdri-931_2.50"、Autosamdri-931_3.40"多用途觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀；Autosamdri-934觸摸屏全自動(dòng)C系列臨界點(diǎn)干燥儀可用于4”晶圓；Automegasamdri-936、938觸摸屏全自動(dòng)C系列臨界點(diǎn)干燥儀分別用于 6”和8”晶圓。

AUTOSAMDRI®-931 Cleanroom系列

該系列CPD的工作腔室有三種尺寸可供選擇：

1.25" I.D. x 1.25" Depth - 25ml Volume

2.50" I.D. x 1.25" Depth - 100ml Volume

3.40" I.D. x 1.25" Depth - 186ml Volume

壓力測(cè)量范圍：0-2000psi.

溫度測(cè)量范圍：-30°C to 60°C

控制方式：配VGA LCD觸摸屏，全自動(dòng)程序控制

控溫方式：全自動(dòng)溫度、壓力控制；放氣方式：微流量閥精確控制

v  默認(rèn)“自動(dòng)模式”設(shè)置，適用于大多數(shù)晶圓和方形裸片MEMS應(yīng)用

v  每次可處理多達(dá) 5片基板（晶圓或裸片）

v  配備耐氟樣品架，可選不同腔室分別用于干燥3"、2"直徑的晶圓或邊長(zhǎng)為10mm的方形裸片

v  對(duì)于外部鋼瓶供應(yīng)的液態(tài)CO2，采用雙T型過(guò)濾器進(jìn)行顆粒過(guò)濾，截留率為99.5%以上

v  內(nèi)部過(guò)濾可將過(guò)濾后的液態(tài)CO2直接輸送至工作腔室， 顆粒過(guò)濾低至0.08µm，截留率為99.999%以上

v  內(nèi)置SOTER™ 冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結(jié)或機(jī)體靜電，整個(gè)過(guò)程無(wú)噪聲

v  "Stasis軟件" ，干燥凝膠和其它復(fù)雜樣品

AUTOSAMDRI®-815/815B Series B系列

外形尺寸：815 Series B  14"(W) x 10.25"(H) x 21.50"(L)；815B Series B  14.25"(W) x 11.75"(H) * 25.0"(L)

工作腔室尺寸：815 Series B  1.25"I.D. x 1.25"Depth；815B Series B  4.5"I.D. x 1.25"Depth

壓力測(cè)量范圍：0-2000psi.

溫度測(cè)量范圍：-30°C to 60°C

控制方式：全自動(dòng)按鍵操作

控溫方式：全自動(dòng)溫度、壓力控制；放氣方式：微流量閥精確控制

v  通過(guò)微處理控制器來(lái)實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)處理過(guò)程

v  內(nèi)表面材質(zhì)耐用于CO2，超純乙醇和丙酮環(huán)境

v  自動(dòng)控制系統(tǒng)壓力和保持壓力穩(wěn)定性

v  內(nèi)部過(guò)濾可將過(guò)濾后的液態(tài)CO2直接輸送至工作腔室， 顆粒過(guò)濾低至0.08µm，截留率為99.999%以上

v  基于不同尺寸腔室，每次運(yùn)行可以處理5 x 4"，5 x 3", 5 x 2"，5 x 1"直徑的晶圓或者5 x 10mm方形裸片(提供可以耐氟的晶圓/方形裸片樣品架，方便運(yùn)輸和處理晶圓和方形裸片)

v  內(nèi)置SOTER™ 冷凝器，分離廢棄乙醇和二氧化碳，消除任何管路凍結(jié)或機(jī)體靜電，整個(gè)過(guò)程無(wú)噪聲

v  815B Series B帶有獨(dú)特的腔室填充塊，以減小腔室尺寸，使液態(tài)CO2的使用效率大化

注：美國(guó)Tousimis產(chǎn)品已有近50年的歷史，在中國(guó)乃至全球客戶中的口碑非常好。覃思科技是其CPD超臨界干燥儀中國(guó)區(qū)代理。Tousimis臨界點(diǎn)干燥儀產(chǎn)品分為非潔凈室版本和潔凈室版本兩大類，前者常用于電鏡制樣，后者多用于超凈間內(nèi)的材料研究用途；

非潔凈室版本共有7款CPD：

1）Samdri®-PVT-3D常規(guī)臨界點(diǎn)干燥儀

2）Samdri®-795半自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

3）Autosamdri®-815 Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

4）Autosamdri®-815B Series A全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

5）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

6）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

7）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

潔凈室版本共有9款CPD：

1）Autosamdri®-815 Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For Die & 1”Wafers

2）Autosamdri®-815B Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 4”Wafers

3）Automegasamdri®-915B, Series B全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀For 6”Wafers

4）Autosamdri®-931_1.25"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀

5）Autosamdri®-931_2.50"觸摸屏全自動(dòng)多用途臨界點(diǎn)干燥儀

6）Autosamdri®-931_3.40"觸摸屏多用途全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

7）Autosamdri®-934觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀

8）Automegasamdri®-936觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)`干燥儀

9）Automegasamdri®-938觸摸屏C系列全自動(dòng)臨界點(diǎn)干燥儀