NightN斐索干涉儀RIF

產(chǎn)品介紹：

NightN開發(fā)了斐索干涉儀RIF和配套軟件。該軟件旨在處理具有額外傾斜度的干涉圖案。

產(chǎn)品規(guī)格：

1. 孔徑：10 至 95 mm（可選高達 300 mm）

2. 工作頻率：高達 25 Hz

3. 測量精度：0.032 µm (P-V)

4. 測量像差：5 µm（P-V）

5. 光源：二極管激光器

6. 波長：0.65 µm

7. CCD：FireWire接口相機

軟件特色：

1. 可處理實時圖像或保存為 .bmp 圖像

2. 測量精度約為λ/400

3. 結(jié)果顯示為 Zernike 多項式系數(shù)、P-V 和 RMS 值，相位分布的 2D 和 3D 表示

為了獲得被測表面的信息，在 x 方向引入傾斜，并獲得 8 到 60 條干涉條紋處理過程包括：

1. 獲取干涉圖案圖像（或從 .bmp 文件加載）

2. 確定感興趣的區(qū)域

3. 過濾數(shù)據(jù)，排除假極值

4. 尋找極值

5 將相位轉(zhuǎn)化為極值坐標的表示形式，通過 Zernike 多項式分解、計算峰-谷誤差，均方根（RMS）和點擴散函數(shù)（PSF）