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| 本發(fā)明描述了一種通過室部件引入處理流體的方法和系統(tǒng)。該室部件包括室元件，所述室元件包括處于所述室元件的供應(yīng)側(cè)的第一表面和處于所述室元件的處理側(cè)的第二表面，所述處理側(cè)與所述供應(yīng)側(cè)相反。此外，所述室部件包括螺旋通道，所述螺旋通道穿過所述室元件從所述供應(yīng)側(cè)延伸到所述處理側(cè)，所述螺旋通道包括構(gòu)造來接收處理流體的入口和構(gòu)造來分配所述處理流體的出口。 |
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通過室部件引入處理流體的方法和系統(tǒng)
一種室部件，其被構(gòu)造來耦合到處理室，所述室部件包括： 室元件，所述室元件包括處于所述室元件的供應(yīng)側(cè)的第一表面和處于所述室元件的處理側(cè)的第二表面，所述處理側(cè)與所述供應(yīng)側(cè)相反；以及 螺旋通道，所述螺旋通道穿過所述室元件從所述供應(yīng)側(cè)延伸到所述處理側(cè)，所述螺旋通道包括構(gòu)造來接收處理流體的入口和構(gòu)造來分配所述處理流體的出口。
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| 專利號: |
200810093274 |
| 申請日: |
2008年5月19日 |
| 公開/公告日: |
2008年11月19日 |
| 授權(quán)公告日: |
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| 申請人/專利權(quán)人: |
東京毅力科創(chuàng)株式會社 |
| 國家/省市: |
日本(JP) |
| 郵編: |
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| 發(fā)明/設(shè)計人: |
陳立、麥里特·法克 |
| 代理人: |
柳春雷 |
| 專利代理機構(gòu): |
(11258) |
| 專利代理機構(gòu)地址: |
() |
| 專利類型: |
發(fā)明 |
| 公開號: |
101308775 |
| 公告日: |
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| 授權(quán)日: |
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| 公告號: |
000000000 |
| 優(yōu)先權(quán): |
美國2007年5月18日11/750,539 |
| 審批歷史: |
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| 附圖數(shù): |
14 |
| 頁數(shù): |
18 |
| 權(quán)利要求項數(shù): |
4 |
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