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化學(xué)增強(qiáng)型抗蝕劑組合物的制備方法 |
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| 本發(fā)明提供一種抗蝕劑組合物的制備方法，所述抗蝕劑組合物能使從所制備的抗蝕劑組合物得到的抗蝕劑膜的溶解性能得以穩(wěn)定；還提供了一種通過所述制備方法得到的、顯示隨時間退化的批間偏差小的抗蝕劑組合物。本發(fā)明的方法用于制備含有粘合劑、酸產(chǎn)生劑、含氮堿性物質(zhì)和溶劑的化學(xué)增強(qiáng)型抗蝕劑組合物，所述方法包括選擇溶劑的步驟，即選擇具有不高于容許值的過氧化物含量的溶劑作為溶劑，以及在上述選擇的溶劑中混合所述抗蝕劑組合物的組成材料的步驟。 |
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化學(xué)增強(qiáng)型抗蝕劑組合物的制備方法
一種化學(xué)增強(qiáng)型抗蝕劑組合物的制備方法，所述抗蝕劑組合物包括粘合劑、酸產(chǎn)生劑、含氮堿性物質(zhì)和溶劑，所述方法包括： 選擇溶劑的步驟，所述溶劑具有不高于容許值的過氧化物含量；以及 在上述選擇的溶劑中混合所述抗蝕劑組合物的其它組分的步驟。
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| 專利號: |
200810093491 |
| 申請日: |
2008年4月28日 |
| 公開/公告日: |
2008年11月5日 |
| 授權(quán)公告日: |
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| 申請人/專利權(quán)人: |
信越化學(xué)工業(yè)株式會社 |
| 國家/省市: |
日本(JP) |
| 郵編: |
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| 發(fā)明/設(shè)計人: |
增永恵一、武田隆信、渡邊保、渡邉聡、小板橋龍二、渡邊修 |
| 代理人: |
梁興龍 王維玉 |
| 專利代理機(jī)構(gòu): |
(11290) |
| 專利代理機(jī)構(gòu)地址: |
() |
| 專利類型: |
發(fā)明 |
| 公開號: |
101299131 |
| 公告日: |
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| 授權(quán)日: |
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| 公告號: |
000000000 |
| 優(yōu)先權(quán): |
日本2007年5月2日2007-121545 |
| 審批歷史: |
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| 附圖數(shù): |
1 |
| 頁數(shù): |
17 |
| 權(quán)利要求項數(shù): |
1 |
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