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| 本發(fā)明屬于金屬材料領域,提供了一種鋁碳化硅復合材料(SiC↓[p]/Al)用作封裝外殼和蓋板時的密封封蓋方法。適用于微電子封裝中混合集成電路、毫米波/微米波集成電路、多芯片組件等微電子器件的封裝外殼。本發(fā)明首先在SiC↓[p]/Al復合材料表面進行雙層鍍覆;再將具有表面鍍層的SiC↓[p]/Al復合材料外殼與蓋板用Sn基焊料焊接在一起。本發(fā)明不僅大大降低了生產成本,同時還解決SiC↓[p]/Al復合材料封接困難問題,為有關金屬外殼廠廣泛使用SiC↓[p]/Al復合材料作為外殼和蓋板材料鋪平道路。 |
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一種鋁碳化硅封裝外殼的封接方法
一種鋁碳化硅封裝外殼的封接方法,其特征是工藝步驟如下: (1)首先在SiC↓[p]/Al復合材料表面直接化學鍍Ni(P)合金,其中Ni(P)鍍層的P質量百分含量為2%~12%,余量為Ni,Ni(P)鍍層厚度為1.0~9.0μm; (2)在鍍Ni(P)合金后的表面化學鍍Ni(B)合金,其中Ni(B)鍍層的B質量百分含量為0.5%~4%,余量為Ni,其厚度為0.1~8.0μm; (3)將Ni(P)/Ni(B)雙鍍層結構的SiC↓[p]/Al復合材料用Sn-Ag-Ni焊料釬焊,SiC↓[p]/Al復合材料外殼與蓋板焊接表面是Ni(P)/Ni(B)雙鍍層結中間是用Sn-Ag-Ni焊料;工藝焊接條件如下:真空度為1×10↑[-3]Pa,焊接溫度為240~290℃,焊接時間為2~30分鐘。
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| 專利號: |
200810114098 |
| 申請日: |
2008年5月30日 |
| 公開/公告日: |
2008年10月29日 |
| 授權公告日: |
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| 申請人/專利權人: |
北京科技大學 |
| 國家/省市: |
北京(11) |
| 郵編: |
100083 |
| 發(fā)明/設計人: |
吳茂、何新波、曲選輝、孟菲菲、任淑彬 |
| 代理人: |
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| 專利代理機構: |
() |
| 專利代理機構地址: |
() |
| 專利類型: |
發(fā)明 |
| 公開號: |
101293294 |
| 公告日: |
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| 授權日: |
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| 公告號: |
000000000 |
| 優(yōu)先權: |
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| 審批歷史: |
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| 附圖數(shù): |
2 |
| 頁數(shù): |
4 |
| 權利要求項數(shù): |
1 |
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